輪郭形状 |
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| 測定範囲 | X軸 | 100mm | 200mm |
| Z1軸 | 60mm | ||
| (水平状態より±30mm) | |||
| 真直精度 X軸 輪郭形状 | 0.8µm / 100mm | 2µm / 200mm | |
表面粗さ |
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| 測定範囲 | X軸 | 100mm | 200mm |
| Z1軸 | 800µm, 80µm, 8µm | ||
| 真直精度 X軸 輪郭形状 | (0.05+0.001L)µm | (0.1+0.002L)µm | |
| L=traverse length (mm) | |||
Mitsui & Co. Machine Tech Ltd.
